氦示踪气体用于多种泄漏测试应用。氦原子尺寸很小，可以让气体通过非常小的泄漏点，并且无毒且不易燃。最常见的示踪气体泄漏检测方法是硬真空测试，它涉及使用真空箱和示踪气体来检测微泄漏。
该方法使用便携式泄漏检测系统，该系统包括：
真空箱或设备
用于从零件和/或腔室中抽空大气的泵
用于测量零件内部或周围的氦质量的质谱仪
对于附加功能，可以添加嗅探棒以定位泄漏
使用氦硬真空测试以降低泄漏率的好处
硬真空氦泄漏测试是所有示踪气体泄漏检测系统中最准确和最有效的，用于生产泄漏测试以测试泄漏率非常低（极小）的零件。与其他示踪气体泄漏检测方法相比，它具有更好的可重复性、更短的循环时间，并且不易受温度和其他外部环境因素的影响。
使用真空泄漏测试方法的好处包括：
极高的灵敏度可检测高达 1 x 10-8 scc/s 的泄漏
高重复性和快速循环时间
非常高的泄漏检测精度减少了虚假泄漏故障
氦气硬真空测试为测试一系列部件提供可靠的结果，包括传感器、外壳、医疗设备、密封组件、电气外壳、空调和制冷组件等。系统几乎适用几乎任何测试应用程序，并适应手动或自动加载。
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真空氦泄漏测试提供高水平的准确度
可以使用“由内向外”或“由外向内”的方法进行真空氦泄漏测试。在由内而外的真空泄漏测试中，将零件放置在密封箱中并固定。然后使用真空泵去除箱和零件中的所有气体。在达到足够的真空后，测试循环开始。
质谱仪用于对箱室进行氦气采样，同时部件充满氦气以测试压力规格。当零件填充时，质谱仪连续采样从零件中逸出的示踪气体，分析氦分子流与测试的拒绝设定点进行比较。如果氦测量值超过不合格规格，则该部件无法通过泄漏测试。
由外向内的硬真空测试是在箱体外部进行的，包括抽空零件并在外部周围喷射氦气。如果存在任何泄漏，气体将流向零件内部并被质谱仪检测到，从而导致零件无法通过泄漏测试。
两种方法都提供了类似的好处，但由内而外的硬真空测试可以提供更高水平的灵敏度，并且由于测试过程是自动化的，因此减少了人为错误的机会。这使其成为航空航天和其他需要更高精度的应用的理想选择。然而，成本也是一个考虑因素，因为它需要比使用嗅探棒执行的由外向内方法更多的设备。
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